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작업환경
Working environment
에비던스 작업공간(Clean-Room)의 관리
1) Class 5,000수준 청정도 관리
2) 주기적 Filter 교체
3) 주기적 Particle Test 측정
4) Clean Room 차압관리(자체 차압계 설치)
5) 온습도 관리
6) Clean Room Valldation (ISO14644-1)실시
환기횟수 측정
풍량측정
광기흐름측정
차압측정
부유 입자수 측정
낙하균 측정
부유균 측정
온, 습도 측정